研究・開発 / エッチングプロセスエンジニア(RIE)
Rapidus株式会社
仕事内容【職種】半導体>研究・開発 【業種】メーカー>半導体 ※会員属性などに応じ、当該求人をビズリーチ上で閲覧された際に内容が異なる場合があります Rapidusの最先端半導体製造プロセスにおいて、Cu Dual Damascene構造の形成に関するエッチング技術開発を担当いただきます。 プロセス開発から装置評価、量産立ち上げ支援まで、技術の中核を担うポジションです。 ・Cu Dual Damascene構造に対応したエッチングプロセスの開発・最適化 ・プラズマエッチング装置の選定・条件設定・評価(ハードマスク、低k材料対応含む) ・微細パターン形成における選択性・異方性・ダメージ制御技術の検